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Halbleiter

Neudefinition der Halbleiterherstellung

Eine kleine Stellfläche, hohe Präzision, niedrige Betriebstemperaturen und Leistung sind Anforderungen in der Halbleiterindustrie. Genesis bietet kompakte Lösungen, sowohl in der LDD als auch der LDX Motorreihe. Unsere Motoren reduzieren die Stellfläche von Systemmontagen, erweitern den Bewegungsbereich, reduzieren das Gewicht der Baugruppe und steigern die Dichtheit der Werkzeuge auf derselben Fläche. Die LiveDrive-Direktantriebsmotoren von Genesis haben eine branchenführende Drehmomentdichte sowie ein überlegenes Drehmoment zu Länge, Drehmoment zu Masse und eine Motorkonstante (Km).

Unsere Direktantriebsmotoren verbessern die Leistung

Durch die direkte Kopplung des Motors an die Last wird die Einschwingzeit deutlich verkürzt. Mit dem erhöhten verfügbaren Drehmoment kann eine Last auf die erforderliche Geschwindigkeit beschleunigen und das Bewegungsprofil effizienter vervollständigen. Das elektromagnetische Design unserer Direktantriebsmotoren erzeugt einen höheren Motorkonstantenwert. Unsere Motoren können das gleiche Drehmoment wie andere Motoren erzeugen, ohne so viel Wärme zu erzeugen.

LiveDrive Vorteil bei Halbleitern

  • Innovative Technologien auf Basis patentierter Elektromagnetik
  • Überlegene Motorkonstante, weniger Verlustleistung und geringerer Temperaturanstieg
  • Überlegenes Drehmoment zu Länge, Drehmoment zu Masse und Motorkonstante
  • Wicklungsmöglichkeiten für unterschiedliche Spannungen oder Drehzahlanforderungen
  • Verschiedene Größen, Stapellängen und Drehmomentwerte

Anwendung -Halbleiterherstellung

Genesis Direktantriebsmotoren mit hohen Km-Werten sind von entscheidender Bedeutung. Sie stellen sicher, dass zukünftige Halbleiter-Produktionsanlagen jeder Aufgabe gewachsen sind. Genesis produziert die drehmomentdichtesten Direktantriebsmotoren mit den höchsten Km-Werten – eine ideale Lösung.

Mehr zur Halbleiterherstellung

Nahaufnahme von Halbleitern

Anwendung – Wafer-Handhabungsarme

Genesis Direktantriebsmotoren entfernen Riemen und Zahnräder von den Wafer-Handhabungs-Armen und reduzieren die gesamte Montagehöhe. Die hohe Drehmomentdichte von LiveDrive macht die Roboterarme kompakter, was das Arbeitsvolumen eines Roboters erhöht, und die hohe Motorkonstante führt zu einem geringeren Temperaturanstieg, was Waferdefekte reduziert.

Mehr über Wafer-Handhabung

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