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Halbleiterherstellung – Wafer-Handhabung

Vorteile von Direktantriebsmotoren

  • Erhöhter Z-Achsen-Verfahrweg
  • Weniger Teile, verringerte Fehlstellen
  • Saubere Leistung weniger Partikel, mehr Ertrag
  • Weniger Verlustleistung und weniger Temperaturanstieg

Beispiel für ein Wafer-Handhabungssystem

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